工业厂房加热器更换

在晶圆厂中，光刻胶烘烤期间的温度偏移或干燥步骤的温度漂移绝非“故障”。它表现为线宽变化，降低良率，并导致非计划停机。传统加热器在晶圆上努力维持±0.1°C的温度波动，每次循环都会产生粒子，可能使洁净室内的粒子计数超标。我们研发的工业晶圆厂加热器替代方案旨在消除这种变异性。 技术重点 我们选择了中波...