为何我们选择红外固化技术来处理晶圆？ 在半导体制造厂中，“清洁”并非一个简单的目标，而是至关重要的要求。如果在干燥或固化过程中留下哪怕一点点残留物，都会引发问题。因此，我们采用精准的红外传感器和发射器，这样就能完全避免使用化学溶剂和燃烧式加热器。 不必再通过空气加热了。 大多数人都会想到用烤箱来加...

在制造车间，光刻胶烘烤不是可选项——而是热预算。将软烘烤或硬烘烤温度提高仅 2°C，就会观察到关键尺寸控制和侧壁轮廓的漂移。晶圆级均匀性是判断批次是否能够发货的关键所在，差之毫厘则失之千里。 重要内容概述 我们围绕近红外（NIR）发射和石英卤素设计构建了精密红外加热器，因此其响应迅速并保持稳定。关...