Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie, was zu tun ist. Es geht nicht nur darum, eine bestimmte Temperatur einzuhalten. Vielmehr geht es um die unsichtbaren Stoffe – Partikel und Gase, die in Sekundenschnelle eine Charge an Wafers zerstören können.
Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen sind in diesem Kontext unbrauchbar. Wenn sie heiß werden, neigen sie dazu, metallische Verunreinigungen oder organischen Schmutz abzugeben. Deshalb verwenden wir für UHP-Anlagen synthetisches Quarzmaterial. Dadurch wird verhindert, dass die Wärmequelle das Substrat schädigt.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir verwenden hochreines synthetisches Quarzmaterial – billiges Material enthält nämlich Bor und Aluminium. Wenn solche billigen Lampen heiß werden, geben sie Gase ab – das ist ein Albtraum für die Reinheit des Materials.
Wir verwenden außerdem einen Halogenzyklus. Das bedeutet, dass der Wolframfaden nicht verdampft und am Inneren der Lampe haften bleibt. Wenn sich Wolfram auf dem Glas ablagert, ändert sich die Lichtfarbe – die Lampe funktioniert dann viel früher nicht mehr.
Umgehen mit der Hitze
Wenn man diese Hochleistungslampen benutzt, entsteht eine enorme Hitzeentwicklung. Das ist zwar gut, um die Bauteile schnell auf die richtige Temperatur zu bringen – doch es belastet die Gehäuse stark. Man muss sicherstellen, dass die Kühlsysteme mit dieser Belastung umgehen können. Wenn die Luft nicht richtig zirkuliert und die Enden der Lampe überhitzen, kann das Quarzmaterial zerbrechen.
Um Stabilität zu gewährleisten, verwenden wir R7- oder Sk15-Anschlüsse. Sie sorgen für eine festere elektrische Verbindung – dadurch muss man sich keine Sorgen um Entladungen im Vakuum oder in einer kontrollierten Atmosphäre machen.
Ein paar praktische Tipps
Diese Lampen passen in die meisten hochwertigen Halbleiter- oder optischen Beschichtungsmaschinen. Sie liefern eine saubere, kurzwellige Infrarotstrahlung, die tief in das Material eindringt.
Aber hier kommt das Problem: UHP-Quarz hasst Fingerabdrücke. Wenn die Techniker beim Einbau ohne Handschuhe das Glas berühren, bleiben Hautöle im Quarz zurück. Das führt zu „Hot Spots“, die dazu führen, dass die Lampe vorzeitig versagt.
Halten Sie das Glas daher rein. Andernfalls müssen Sie die Lampen alle paar Hundert Stunden ersetzen – und das möchte niemand am Wochenende tun.