Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, dass der Ofen warm wird!
Falls Sie immer noch auf die Heizung mittels warmer Luft zur Bearbeitung von Halbleitern angewiesen sind, kennen Sie sicherlich die Frustration damit. Im Grunde genommen spielen Sie ein Wartespiel: Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend die Wände der Kammer – und erst danach das Werkstück. Das ist langsam und umständlich.
Kohlenstofffaserverbund-IR-Lampen ändern das. Anstatt die Umgebungstemperatur zu erhöhen, strahlen diese Lampen Energie direkt auf das Substrat ab. Das ist eine effektive Methode.
Warum das wichtig ist
Warme Luft hat erhebliche Verzögerungen. Man muss Minuten lang warten, bis alles stabil ist. Mit Kohlenstofffaserverbund-Lampen hingegen sind es nur Sekunden. Da die Filamente die Wärme nicht wie herkömmliche Metalle speichern, erreichen sie fast sofort die gewünschte Temperatur. Dadurch entsteht eine schnelle Erwärmung sowie Abkühlung. Keine Sorge mehr wegen der lästigen Temperatursprünge, die bei Ofen mit Gebläse auftreten. Alles wird viel kontrollierter.
Platzsparend
Außerdem sparen Sie Platz. Sie müssen keine großen Gebläse oder komplizierte Leitungen mehr verwenden. Da IR-Lampen kompakt sind, können sie in Reihen angeordnet werden, sodass die Wärme genau dorthin gelangt, wo sie benötigt wird. So werden nur die jeweiligen Bereiche des Wafer erwärmt – nicht der ganze Aufbau. Dadurch wird die Fläche, die der Maschine benötigt, reduziert, und der Prozess wird effizienter.
Realitätscheck
Es handelt sich dabei zwar nicht um einen Zauberstab – man muss die Einstellungen richtig vornehmen. Wenn die Abstände zwischen den Lampen nicht richtig sind, entstehen Hotspots. Man kann die Lampen einfach nicht so platzieren, wie man will; man braucht geeignete Reflektoren, damit die Wärme gleichmäßig verteilt wird. Sind die Lampen zu nah beieinander, kann das Substrat beschädigt werden. Zu weit entfernt? Dann verliert man wieder die Geschwindigkeit, von der wir gesprochen haben.
Und noch eines: Überprüfen Sie Ihre Stromversorgung. Diese Lampen ziehen bei ihrem ersten Betrieb viel Strom – daher sollte Ihre Elektrik ausreichen, um das zu bewältigen.