حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰ در حین گرم کردن ویفرها
اگر شما مشغول گرم کردن ویفرهای نیمههادی هستید، میدانید که کنترل دما تنها نیمی از مشکلات است. مشکل واقعی، وجود ذرات است؛ در محیط کلاس ۱۰۰، حتی یک تکه کوچک از قطعات گرمایشی میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. این موضوع نه تنها آزاردهنده است، بلکه هزینهبر نیز هست.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم؛ این روش، خطرات مربوط به ذرات را از بین میبرد.
چرا کیفیت ماده مهم است؟
شیشههای معمولی یا کوارتزهای ارزان، نمیتوانند در برابر گرما مقاومت کنند؛ وقتی تحت فشار قرار میگیرند، شروع به تولید گاز میکنند یا حتی تکهتکه میشوند. در نتیجه، تکههای ریز یا بخارات شیمیایی به ویفرها منتقل میشوند.
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده روی سطح خود تبلور نمیشود و تخریب نمیگردد. علاوه بر این، از آنجایی که تشعشعات مادون قرمز انرژی را مستقیماً به سطح ویفرها منتقل میکنند، نیازی به استفاده از هوای مکانیکی نیست. این امر باعث میشود که هیچ آلایندهای در محیط کار وجود نداشته باشد. این روش، ساکت، تمیز و قابل پیشبینی است.
تنظیم دمای مناسب
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند به سرعت گرم شوند و دمای مورد نیاز را حفظ کنند. با تنظیم تراکم فیلامنتهای تنگستن و ضخامت دیواره کوارتز، میتوانیم خروجی طیفی دقیقی را داشته باشیم.
اگر به توان بالا برای پردازش سریع نیاز دارید، لامپهای با توان بالا مناسب هستند. اما مراقب باشید که سیستم تهویه دستگاه شما بتواند این میزان گرما را تحمل کند؛ در غیر این صورت، سنسورهای شما دچار مشکل خواهند شد.
نصب و قوانین مهم مربوط به کوارتز
ما اتصالات لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند به راحتی در دستگاههای گرمایشی موجود نصب شوند. همچنین، ما روی درزهای موجود در لامپها نیز توجه زیادی کردهایم؛ زیرا معمولاً از آنجا نشتی اتفاق میافتد.
اما مهمترین نکته این است: هرگز از دستان خود برای لمس این لامپها استفاده نکنید. کوارتز شکننده است، اما حساس نیز هست؛ روغنهای موجود در پوست شما میتواند باعث سوختن لامپ شود. برای تمیز کردن لامپها، از دستکشهای بدون الیاف و الکل ایزوپروپیلیک استفاده کنید.
اگر از لامپها به درستی مراقبت کنید، آنها میتوانند هزاران بار استفاده شوند، بدون اینکه حتی یک ذره نیز از بین برود.