वास्तव में आवश्यक स्थानों पर ही अधिक ऊष्मा प्रदान करना
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर उत्पादन कक्षों में समय बिताया है, तो आपको वहाँ प्रयोग में आने वाले हीटरों से जुड़ी समस्याओं का पता होगा। वेफर की सतह को एक निश्चित तापमान तक लाना आवश्यक है, लेकिन बाकी उपकरणों से अत्यधिक ऊष्मा उत्पन्न होने से बचना भी आवश्यक है।
अधिकांश लोग सामान्य एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का ही उपयोग करते हैं। लेकिन समस्या यह है कि एल्यूमिनियम ऊष्मा को आसानी से अवशोषित कर लेता है; इस कारण हीटर के ही केस को गर्म करने हेतु अत्यधिक ऊर्जा खर्च हो जाती है।
यहीं पर सोने की भूमिका आती है।
यह तो बहुत ही आकर्षक लगता है, लेकिन वास्तव में यह भौतिकी का ही नियम है। सोना निकट-अवरक्त विकिरण को आसानी से परावर्तित कर देता है। जब हम एल्यूमिनियम की जगह सोने का उपयोग करते हैं, तो ऊष्मा सीधे वेफर पर ही पहुँचती है। इससे ऊर्जा की बचत होती है, एवं कूलिंग सिस्टम पर भी कम दबाव पड़ता है।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… सोना नरम होता है। यदि रखरखाव टीम द्वारा सोने की सतह पर खरोंचें आ जाएँ, तो इससे वेफर पर गर्म बिंदु बन सकते हैं, जिससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। इसलिए सोने की सतह का ध्यानपूर्वक ही देखभाल करना आवश्यक है।
अब बात करते हैं लागत की… हाँ, सोना महँगा है। लेकिन यदि आप 300 मिमी वेफरों का उत्पादन कर रहे हैं, तो ऐसी स्थिति में यह लागत उचित ही है। आप कम वॉटेज वाले हीटरों का ही उपयोग कर सकते हैं, और फिर भी अपने लक्ष्यों को प्राप्त कर सकते हैं।
एक और सलाह – ऐसे हीटरों को PID कंट्रोलर से जोड़ें। यही सबसे अच्छा तरीका है।
और चाहे कुछ भी हो, कभी भी पुराने रिफ्लेक्टरों को ठीक करने हेतु हीटर के वॉटेज को बढ़ाने की कोशिश न करें… ऐसा करने से हीटर के फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाएँगे। बस, रिकमेंडेड सेटिंग्स का ही उपयोग करें, और सोने को ही काम करने दें।