300mmウェーハの場合、ソフトベイクの際に半度ほどの温度変動があったり、ハードベイクへの移行が不十分だったりするだけで、CDが動いてしまい、品質が低下してしまいます。私たちは、このような熱的な不安定性を排除するために、二重管構造で金コーティングされたランプを開発しました。
技術的に重要な点 二重管構造で金コーティングされたランプは、短波長の赤外線を放出し、それが直接フォトレジストや薄膜に作用します。金コーティングによって赤外線が再び対象物に反射されるため、効率が向上し、ランプの温度も下がります。これにより、粒子が発生するリスクが減少します。 ウェーハ全体での温度均一性は±0.1°C程度であり、ドアが開閉した後もすぐに安定します。5,000時間以上使用しても出力は安定しており、強度の変動も5％未満です。そのため、頻繁に調整を繰り返す必要がありません。 このランプは、トラックオーブンや乾燥モジュールに搭載可能で、クリーンルームのクラス1～100にも適応します。通常の空気流れの中では、粒子が発生しません。
なぜ現場で有効か ウェーハの乾燥において、このランプは表面の水分を除去しつつ、薄膜を損傷させないため、熱的な問題を引き起こすことがありません。リソグラフィーでは、ソフトベイクやハードベイクをより正確に制御でき、定在波を減少させ、より良いプロファイル制御が可能になります。 その結果、ベイクサイクルが短くなり、エネルギー消費も減少し、スクラップも少なくなります。また、ランプが毎シフト同じ熱的プロファイルを維持するため、各ロット間でのレシピの調整が少なくなり、オーバーレイも良好に保たれます。
注意点 ランプを反射器の形状やオーブンの空気流れに合わせて設置する必要があります。反射器が正しくないと、ホットスポットが発生します。また、空気流れが弱いと、ランプの温度が上昇し、寿命が短くなります。 金コーティングは耐久性がありますが、溶剤や過度な洗浄には弱いです。正しい洗浄方法を守り、コーティングされた面に触れないようにしてください。正しく設置されれば、二重管構造で金コーティングされたランプは24時間365日稼働し、予測可能なメンテナンスが可能になります。