MEMSセンサウェーハ乾燥ヒーター

IRウエハの乾燥処理を安全に行うための対策 正直に言って、化学洗浄後のMEMSセンサーワエハの乾燥処理は、非常に危険な作業です。加熱要素が、可燃性・爆発性のある溶剤の蒸気の真ん中に位置しているのです。 一般的なIRランプでは、このような状況には適していません。そのような環境で普通のランプを使えば、...