熱を必要な場所に効率的に届ける方法 スマートな製造工場を構築する際、高効率なIRランプを選ぶのは簡単です。しかし本当に厄介なのは、その熱がどこに行くかを管理することです。 エネルギーが部屋全体を温めたり、機械の筐体を壊したりしては困ります。そこで役立つのがアルミニウム製の反射板です。これらは、放射...

わずか0.3℃の温度変動だけで、フォトレジストの特性が変化してしまいます。その影響はすぐに現れ、リソグラフィー処理時のエラーやスクラップの増加、工程の遅延といった問題につながります。ウェーハを加熱するランプの性能というのは単なる理論上のものではなく、繰り返し可能な温度制御や、プロセス中に粒子が発生...