반도체 제조 과정에서 탄소 배출을 줄이려면, 모든 것은 하우징부터 시작됩니다. 반도체 공장에서 일하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 정확한 열 분포가 필요합니다. 그렇지 않으면 비용만 많이 드는 결과가 나옵니다. 최근에는 탄소 중립을 위한 노력이 활발해지고 있어서, 기존의 저항식 히터 대신 목표 지점에 에너지를 집중시킬 수 있는 IR 시스템을 사용하고 있습니다.
하지만 문제는 IR 램프만으로는 충분하지 않다는 것입니다. 진짜 핵심은 스테인리스 스틸로 만들어진 하우징에 있습니다.
열 관리 우리는 가스가 발생하지 않는 고품질의 스테인리스 스틸을 사용합니다. 클린룸에서는 이것이 반드시 필요합니다. 하지만 저는 하우징을 단순히 부품들을 고정하는 용도로만 생각하지 않습니다. 그것을 거울처럼 여겨야 합니다. IR 램프의 초점을 정확하게 맞추면, 웨이퍼가 위치한 곳에 에너지를 집중시킬 수 있습니다. 열이 다른 곳으로 퍼지지 않으면, 냉각 시스템도 더 이상 열을 식히기 위해 고생할 필요가 없습니다. 이렇게 되면 에너지 비용도 줄어듭니다.
효율성 극대화 탄소 감소란 사실상 아주 작은 차이에서 시작됩니다. 우리는 에미터를 가능한 한 목표 지점에 가깝게 배치하기 위해 노력합니다. 간격이 짧을수록 열 전달 속도가 빨라집니다. 그래서 웨이퍼가 더 빨리 원하는 온도에 도달하고, 처리 시간도 줄어들며 생산량도 증가합니다. 또한, 맞춤형 마운팅 포인트에도 많은 시간을 투자합니다. 왜냐하면 램프가 몇 밀리미터만 움직여도 과열된 부분이 생기기 때문입니다. 그러면 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않습니다.
“숨 쉴 공간” 문제 스테인리스 스틸은 튼튼하지만, 열이 가해지면 팽창합니다. 최대 부하 상태에서는 하우징이 팽창합니다. 너무 조이면 프레임이 비틀리고, 더 심하면 램프의 밀봉을 망가뜨리거나 석영을 깨뜨릴 수 있습니다. 이건 해결하기가 매우 어렵습니다. 핵심은 금속에 “숨 쉴 공간”을 주면서도 모든 것을 견고하게 유지하는 것입니다. 제대로 하면 가열 요소의 수명이 훨씬 길어집니다. 잘못하면 부품을 자주 교체해야 합니다.