300mm 웨이퍼를 처리할 때, 소프트 베이크 과정에서 반도 정도의 온도 변동이나 하드 베이크로 전환할 때의 부드럽지 않은 온도 상승만으로도 CD가 움직일 수 있으며, 이로 인해 품질 문제가 발생할 수 있습니다. 우리는 이러한 온도 변동을 최소화하기 위해 금으로 코팅된 듀얼 튜브 형태의 램프를 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점들 금으로 코팅된 듀얼 튜브 형태의 램프는 단파 적외선을 방출하여 포토레지스트와 필름에 직접 작용합니다. 금 코팅层은 적외선을 다시 목표물로 반사시켜주므로 효율성이 향상되고, 램프의 최고 온도가 낮아져 입자 생성 가능성도 줄어듭니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 설정된 온도 범위 내에서 ±0.1°C의 일관된 온도를 유지할 수 있으며, 도어가 열리고 닫힌 후에도 빠르게 안정화됩니다. 5,000시간 이상 사용해도 성능이 안정적이며, 광선 강도의 변동도 5% 미만이므로 계속해서 조정할 필요가 없습니다. 이 램프는 트랙 오븐 및 건조 모듈에 사용되는 표준 듀얼 램프 장치와 호환됩니다. 클린룸 클래스 1–100 환경에서도 문제없이 작동하며, 정상적인 공기 흐름 하에서는 입자가 생성되지 않습니다.
현장에서의 효과 웨이퍼 건조 과정에서 이 램프는 필름을 손상시키지 않으면서 표면의 수분만 제거해주므로, 열 관련 문제가 줄어듭니다. 리소그래피 과정에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 더욱 정밀한 온도 제어가 가능해져 파동 현상을 줄이고 더 나은 프로파일 제어가 가능해집니다. 결과적으로 베이크 주기가 단축되고 에너지 소비도 줄어들며, 폐기물도 줄어듭니다. 여러 번 반복하는 공정에서도 램프는 항상 동일한 온도 프로파일을 유지하여 설정값을 변경할 필요가 없습니다.
주의해야 할 사항 램프를 반사기의 형태와 오븐의 공기 흐름에 맞게 설치해야 합니다. 반사기가 제대로 되어 있지 않으면 발열이 생길 수 있습니다. 공기 흐름이 약하면 램프의 온도가 상승하여 수명이 단축됩니다. 금 코팅은 잘 유지되지만, 용매나 강력한 청소제는 적합하지 않습니다. 승인된 청소 방법을 사용해야 하며, 코팅된 표면을 만지지 않아야 합니다. 제대로 설치된다면, 금으로 코팅된 듀얼 튜브 형태의 램프는 24/7 연속으로 작동할 수 있으며, 공정의 안정성도 유지됩니다.