Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Se você opera uma sala limpa de classe 100, sabe bem como é. Não se trata apenas de manter uma determinada temperatura. Trata-se também das partículas e gases invisíveis que podem estragar um lote inteiro de wafers em segundos.
A maioria das lâmpadas infravermelhas padrão representa um risco nesse contexto. Quando elas esquentam, tendem a liberar impurezas metálicas ou substâncias orgânicas. É por isso que utilizamos quartzo sintético de alta pureza para sistemas UHP (Ultra High Purity). Isso evita que a fonte de calor prejudique o substrato.
O segredo está no quartzo.
Usamos quartzo sintético de alta pureza, pois os materiais baratos contêm boro e alumínio. Quando essas lâmpadas esquentam, elas liberam gases, o que é um grande problema para a pureza dos materiais.
Também utilizamos um sistema de ciclagem de halogênio. Isso ajuda a evitar que o filamento de tungstênio evapore e fique preso dentro do tubo. Se o tungstênio se acumular no vidro, a luz produzida pela lâmpada muda, e ela acaba se quebrando precocemente.
Lidando com o calor
Quando se utiliza lâmpadas UHP de alta potência, o calor gerado é enorme. Isso é bom para aquecer rapidamente os componentes, mas representa um grande desafio para o design do dispositivo. É preciso garantir que os sistemas de resfriamento consigam lidar com essa carga térmica. Se o ar não circular corretamente e as extremidades do tubo superaquecerem, o quartzo pode se quebrar.
Para manter tudo estável, utilizamos conectores R7s ou Sk15. Eles oferecem um contato elétrico preciso, o que evita problemas relacionados à formação de arcos elétricos em ambientes de vácuo ou atmosfera controlada.
Algumas dicas práticas
Essas lâmpadas geralmente se encaixam perfeitamente na maioria das ferramentas de revestimento óptico ou semicondutor de alta qualidade. Elas fornecem uma emissão infravermelha de alta eficiência, capaz de penetrar profundamente nos materiais.
Mas há um detalhe importante: o quartzo UHP não tolera impressões digitais. Se os técnicos tocarem o vidro durante a instalação sem usar luvas, os óleos da pele ficarão gravados no quartzo. Isso cria “pontos quentes” que causam o falha prematura da lâmpada.
Mantenha o vidro sempre limpo. Caso contrário, você terá que substituir as lâmpadas a cada algumas centenas de horas. E ninguém quer passar seu fim de semana fazendo isso.