Üretim tesislerinde, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri sadece “ısısal adımlar” değildir; bunlar aynı zamanda ürün kalitesini etkileyen faktörlerdir. Litografideki pişirme işlemi sırasında wafer üzerindeki sıcaklıkta meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik, kritik boyutları etkileyebilir. Ayrıca, ısınma sırasında oluşan parçacıklar da ürünün kesilmesinden önce onu bozabilir. Bu yüzden, termal dengeyi göz önünde bulunduran ve temiz oda kurallarına uygun bir ısıtıcıya ihtiyaç vardır.
Bizim üretim tesisimizdeki ısıtıcılar, kısa dalga infrakızı kuvars yayıcıları ve zorlanmış hava dolaşım sistemi kullanılarak yapılmıştır. Böylece, pişirme bölgesindeki waferlerin sıcaklığı ±0,1°C aralığında tutulur. Sıcaklık tekrarlanabilirliği ise ±0,5°C’dır; böylece her parti için aynı termal profil elde edilir.
Oda malzemeleri düşük gaz salınımına sahiptir ve hava akışı HEPA standartlarına uygundur. Böylece, partikül sayısı Class 1–100 seviyesinde tutulur. Sıfır parçacık üretimi sadece bir slogan değildir; bu durum, iç filtreleme sistemleri ve yüzeyler sayesinde sağlanır. Enerji tüketimi ise işlem gereksinimlerine göre ayarlanır; böylece gereksiz ısı üretilmez ve işletme maliyetleri öngörülebilir kalır.
Üretim sürecinde, fotoresistlerin belirli zaman aralıkları içinde ve belirli sıcaklıklarda pişirilmesi gerekmektedir. Bu ısıtıcı, yumuşak ve sert pişirme işlemlerinin belirlenen parametreler dahilinde gerçekleşmesini sağlar; böylece CD’lerdeki değişiklikler azalır ve ürün verimi artar. Temiz oda uyumluluğu sayesinde parçacık sayısı azalır ve bu da ileri teknoloji ürünlerinde çok önemlidir. Bu ısıtıcı, 7/24 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; bileşenler sürekli çalışır ve bakım aralıkları önceden planlanır.
Bu cihazın istikrarlı bir güç kaynağına ve temiz oda kurallarına uygun bir egzoz sisteminin olması gerekmektedir. Modifikasyonlar, hat düzenine bağlı olarak değişebilir ve kısa süreli kesintilere neden olabilir. Araç arayüzünü ve gaz panellerini mevcut ekipmanlarla uyumlu hale getirmek önemlidir.
Entegrasyonu kolaylaştırmak için boyut çizimleri ve devreye alma kontrol listesi sunuyoruz. Ancak altyapının erken planlanması gerekmektedir; aksi takdirde üretim süreci aksayacaktır.