利用红外线加热让真空室更快达到工作温度
如果你正在规划一个高效的制造工厂，那么你肯定已经意识到，处理热量其实是一件相当复杂的问题。在真空环境中，无法依靠空气来传递热量——因为对流根本不会发生。这时就只能依靠辐射来传热了。正因如此，红外线成为最佳选择。它可以在没有介质的情况下直接加热基底。
让加热更“智能”
所谓“智能制造工厂”，其实只是想表达需要更精确的控制方式而已。传统加热元件的问题在于反应速度太慢，需要很长时间才能产生效果。
我们使用短波红外线灯，因为它们的响应速度极快。只要改变电压，它们就能立刻做出反应。当这些红外线灯与闭环PID控制器相连时，就能实现非常精准的温度控制。你可以实时查看温度分布情况，并将温度精确地控制在所需水平。如果你担心晶圆会受到应力影响，这种方式就能避免这种情况的发生。
当然，也有需要注意的地方
不过，高密度红外线阵列会向基底释放大量能量。虽然这有助于缩短生产周期，但这种能量并非“免费”得到的。
如此多的热量会给冷却系统带来很大负担。如果你使用高功率的加热系统，却忽视了冷却系统的升级，那就会导致腔壁出现温度波动。这是一个典型的权衡问题：功率越高，就需要更好的冷却方式。
为什么这种方式适合用于生产
我们设计的系统是模块化的。为什么呢？因为灯泡最终会烧坏。你肯定不想因为一个灯泡坏了而不得不花费整个周末来重新调整整个系统。你需要的是一种可以立即更换的解决方案。
此外，由于所有部件都是数字化的，PLC可以随时监控灯泡的使用时间。这样，在灯泡损坏之前就能及时发出警报，从而避免生产线中断。这样一来，维护工作就从紧急的“一切都在出故障”的状态，变成有计划、有序的任务。
这种方案既快速又紧凑，而且能够适应数字化的生产流程。