为何我们用黄金来干燥半导体晶圆
在操作晶圆清洗设备时，需要找到一个完美的平衡点。一方面，必须快速将晶圆表面上的水分蒸发掉；但另一方面，如果处理不当，热量会导致晶圆变形。
这就是我们采用这种设计方案的原因。我们将防水型红外线灯与镀金反射器结合在一起。为什么选择黄金呢？因为黄金能够防止热量散失到机器的其余部分，而是让热量直接作用于晶圆上。
秘诀就在于反射作用。
大多数人使用铝制反射器，但问题在于，铝会吸收大量红外线能量。而黄金则截然不同——它能够高效地反射近红外光。通过添加一层薄薄的黄金涂层，我们可以将原本会散失的热量重新引导回目标位置。这样一来，就不必提高灯管的电压，从而获得更强的加热效果。这真是巧妙的物理原理啊！
应对“潮湿环境”
由于这些灯处于潮湿环境中，因此很容易受到水滴的影响。一旦有水滴接触到电极，灯管就会立刻损坏。因此，我们必须确保密封性良好。同时，我们还注重反射弧的形状，力求产生集中且强烈的热束。这样既能保持周围机械部件的冷却，又能确保热量集中在需要加热的区域。
权衡利弊
虽然这种方式能产生强烈的热量，但也存在一些风险。因为黄金会让热量变得过于强烈，所以必须小心处理。如果输送带的速度太慢，或者灯管之间的距离过近，就有可能导致晶圆边缘被烧毁。此外，还需要确保冷却风扇能够正常工作，因为反射器后面可能会变得非常热。
最棒的是，这些装置可以轻松替换原有的红外线灯组。只需更换旧的装置，接通电源即可。这样，水分就能更快地蒸发，而且电气系统的负担也会大大减轻。