RTP-Systemlampen: Entwickelt für die anspruchsvollsten Anwendungen im Halbleiterfertigungsprozess
Kommen wir auf die RTP-Lampen zu sprechen. Wir haben diese Lampen speziell für die schwierigsten Aufgaben im Bereich der fortschrittlichen Halbleiterfertigung entwickelt. Der Zweck ist es, eine konstante, hohe Hitzeentwicklung zu gewährleisten – und das in einem Gerät, das keinen Platz wegnimmt. Wenn die Fertigungslinie in Hochgeschwindigkeit arbeitet, halten diese Lampen mit – in jedem einzelnen Zyklus.
Was steckt drin? Leistung, Spannung und optimale Passform
Alles dreht sich um eine präzise Temperaturkontrolle. Die meisten industriellen RTP-Systeme arbeiten mit 400 V – und das ist absichtlich so. Dadurch bleibt der Stromfluss gering, was wiederum zu kleineren Verkabelungen, weniger Spannungsabfällen sowie einer effektiveren elektrischen Verbindung führt.
Die Länge von 300 mm ist ebenfalls keine Zufallswahl: Sie passt perfekt in die Standardhalterungen für die Wafer. Dadurch wird eine gleichmäßige Wärmeverteilung über die gesamte Waferoberfläche gewährleistet. Die Leistungswerte sind so eingestellt, dass sie mit den Anforderungen der Fertigungslinie Schritt halten – ohne das System überlastet zu werden.
Die Materialien, die dies möglich machen
Der Lampenschlauch besteht aus Quarz. Warum? Weil er plötzliche Temperaturänderungen problemlos verkraftet und Infrarotstrahlen zuverlässig weiterleitet. Im Inneren sorgt ein Halogenkreislauf dafür, dass der Glühfaden auch bei langer Betriebszeit stabil bleibt – ohne Verfärbungen oder Leistungseinbußen.
Außerdem gibt es den R7s-Anschluss. Es handelt sich dabei um einen direkten, zweipoligen Anschluss, der die Lampe fest im Reflektor fixiert. Dadurch entsteht eine stabile mechanische und elektrische Verbindung – was die Kontaktpunktwiderstände verringert. Wenn es darum geht, die Lampe auszutauschen, ist das schnell erledigt – ohne Werkzeuge.
Praktische Anwendung: Wo diese Lampen zum Einsatz kommen
In der Praxis werden diese Lampen in Kameras zur schnellen thermischen Behandlung eingesetzt. Sie liefern eine schnelle, gezielte Wärmequelle für Prozesse wie das Aushärten oder die Herstellung von Schichten auf Halbleitern. Ihre kompakte Größe sowie der R7s-Anschluss ermöglichen eine einfache Integration in viele OEM-Geräte – somit ist der Wechsel der Lampen sehr schnell möglich.
Man erhält also eine hohe Leistungsdichte – doch die Wärme muss irgendwohin abgeleitet werden. Die Kammer sowie das Kühlsystem müssen daher gut genug sein, um mit dieser Belastung umzugehen. Wenn das Kühlsystem nicht ausreicht, treten Probleme wie Temperaturschwankungen auf.
Wir konzentrieren uns darauf, die nötige Wärme bereitzustellen. Sie kümmern sich um die Entwicklung des Systems, das diese Wärme bewältigen kann.