Ihre Wafer sauber halten – eine bessere Methode zur Erwärmung
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie, wie wichtig Sauberkeit ist. Schon ein winziger Staubkorn oder ein kleiner Materialrest kann dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist wirklich ein Albtraum. Die meisten Standardheizgeräte eignen sich nicht dafür – sie geben Gase ab oder produzieren Partikel, gerade in dem Moment, in dem man eine stabile Erwärmung benötigt.
Deshalb haben wir auf hochreine synthetische Quarzlampen zurückgegriffen. Es handelt sich dabei nicht um gewöhnliche Heizgeräte. Wir haben alle metallischen Verunreinigungen sowie organische Stoffe entfernt, die bei hohen Temperaturen zur Kontamination führen können.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir verwenden geschmolzenes Silizium mit einem äußerst niedrigen Anteil an Verunreinigungen. Dadurch können Ionen nicht in das Halbleitermaterial eindringen. Man kann den Quarz als eine Art luftdichtes Vakuum um den Wolframfaden betrachten – nichts kann entweichen.
Außerdem sorgt das kurzwellige Infrarotlicht dafür, dass die Wärme direkt auf das Zielobjekt abgegeben wird. Dadurch wird die Luft um das Objekt herum nicht übermäßig erhitzt. Ihr Lüftungssystem wird es Ihnen danken, dass es nicht überlastet wird.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte:
Diese Lampen sind für Geschwindigkeit und Präzision konzipiert. Man kann die Leistung und Spannung an die vorhandene Stromversorgung anpassen.
Aber Achtung: Da diese Lampen sehr leistungsstark sind, kann der Quarz etwas brüchig werden. Wenn plötzliche Temperaturschwankungen auftreten, könnten die Lampen zerbrechen. Deshalb sollte die Leistung schrittweise erhöht werden – Langsamkeit ist hier entscheidend.
Installation in Ihrem System:
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie als Ersatz für Ihre aktuellen Heizelemente verwendet werden können. Wir nutzen spezielle Anschlüsse, damit die elektrische Verbindung luftdicht bleibt. So bleiben die inneren Halogengase dort, wo sie hingehören.
Noch ein Tipp: Wenn Sie diese Lampen in einer Hochdichtanordnung verwenden, achten Sie unbedingt auf Ihre Kühlsysteme. Die Wärmeentwicklung ist extrem stark. Wenn der Luftstrom zu schwach ist, können die Verkabelungen beschädigt werden. Das möchte doch niemand.