Manteniendo tu sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si manejas una sala limpia de clase 100, sabes bien qué significa eso. No se trata simplemente de mantener una temperatura determinada. Se trata también de las partículas y gases invisibles que pueden arruinar un lote de obleas en cuestión de segundos.
La mayoría de las lámparas infrarrojas convencionales son problemáticas en este contexto. Cuando se calientan, tienden a liberar impurezas metálicas o sustancias orgánicas. Por eso, utilizamos cuarzo sintético de alta pureza para las instalaciones de ultra alta pureza. De esta manera, la fuente de calor no daña el sustrato.
El secreto está en el cuarzo
Utilizamos cuarzo sintético de alta pureza, porque el cuarzo barato está repleto de boro y aluminio. Cuando esas lámparas se calientan, liberan gases, lo cual es un desastre para los niveles de pureza.
También utilizamos un sistema de ciclo halógeno. Puedes pensar en ello como un sistema de limpieza que evita que el filamento de tungsteno se evapore y se adhiera al interior del tubo. Si el tungsteno se acumula en el vidrio, la luz emitida cambia y la lámpara se descompone mucho antes de lo necesario.
Lidiando con el calor
Cuando se encienden estas lámparas de alta potencia, la densidad de calor es enorme. Eso es bueno para calentar rápidamente las piezas, pero también representa una gran carga para la carcasa de la lámpara. Es necesario asegurarse de que los sistemas de enfriamiento puedan soportar esa carga. Si el aire no circula adecuadamente y los extremos del tubo se sobrecalientan, el cuarzo se romperá.
Para mantener todo estable, utilizamos conectores R7 o Sk15. Estos conectores garantizan una conexión eléctrica segura, lo que significa que no hay necesidad de preocuparse por arcos eléctricos cuando se trabaja en un ambiente de vacío o en atmósferas controladas.
Algunos consejos prácticos
Estas lámparas se adaptan perfectamente a la mayoría de las herramientas avanzadas para semiconductores o recubrimientos ópticos. Producen una emisión de luz infrarroja de onda corta que penetra profundamente en el material.
Pero aquí está el problema: el cuarzo UHP odia las huellas dactilares. Si los técnicos tocan el vidrio durante la instalación sin guantes, las grasas de la piel quedan incrustadas en el cuarzo. Esto crea “puntos calientes” que causan que la lámpara se rompa prematuramente.
Mantén el vidrio libre de impurezas. De lo contrario, tendrás que reemplazar las lámparas cada pocos cientos de horas, y nadie quiere pasar su fin de semana haciendo eso.