Por qué utilizamos la curado por infrarrojos en el procesamiento de obleas
En las fábricas de semiconductores, “la limpieza” no es solo un objetivo, sino algo fundamental. Si se deja incluso una pequeña cantidad de residuos durante el proceso de secado o curado, esto se convierte en un problema. Por eso recurrimos a sensores y emisores de infrarrojos de alta precisión. Esto nos permite prescindir por completo de los disolventes químicos y los calentadores convencionales.
Olvídense de calentar el aire.
La mayoría de las personas piensan en hornos, donde se calienta el aire con la esperanza de que este calor llegue hasta la oblea. Pero ese método es lento y poco eficiente. El uso de infrarrojos es diferente: utiliza radiación electromagnética para agitar las moléculas dentro del propio sustrato. Es un proceso instantáneo. Además, no hay elementos calentantes que puedan contaminar el aire de la sala limpia. Si queremos cumplir con los requisitos ambientales o evitar la contaminación metálica en la sala, este es prácticamente el único método viable.
Apuntar al objetivo, no a toda la sala.
Lo genial es que podemos ajustar la longitud de onda. En lugar de calentar todo el soporte de la oblea, apuntamos a las bandas de absorción específicas del adhesivo o del fotoreticente. De esta manera, se calienta solo lo que realmente es necesario. Esto ahorra mucha energía. No hay necesidad de desperdiciar energía calentando un enorme chasis metálico solo para curar una oblea de 300 mm. Y como los módulos son muy compactos, se puede eliminar un gran horno de convección y recuperar espacio en el suelo. Su sistema de climatización también se lo agradecerá.
El inconveniente (porque siempre hay uno).
Los infrarrojos de alta intensidad son muy efectivos, pero eso también significa que es necesario controlar cuidadosamente la temperatura. Si los sensores no están bien calibrados, podrían surgir puntos calientes en la oblea. Para evitarlo, es necesario combinar estos emisores con controladores PID de alta velocidad para mantener la temperatura estable.
Un último consejo: no escatime en los cables. Utilice cables blindados. De lo contrario, las interferencias eléctricas podrán afectar las lecturas de los sensores. Es un detalle importante, pero marca la diferencia entre un producto de calidad y uno defectuoso.