دستیابی به گرمای بیشتر در جایی که واقعاً لازم است
اگر تا به حال مدتی را در اتاقهای تمیز تراشهسازی گذرانده باشید، میدانید که استفاده از هیترهای موجود چقدر دشوار است. شما نیاز دارید که سطح ویفر به دمای دقیقی برسد، اما نمیخواهید که سایر تجهیزات نیز به یک رادیاتور عظیم تبدیل شوند.
اکثر افراد از منعکسکنندههای آلومینیومی استاندارد استفاده میکنند. مشکل اینجاست که آلومینیوم، جذبکننده خوبی برای تشعشعات مادون قرمز است؛ بنابراین انرژی زیادی صرف گرم کردن خود بدنه هیتر میشود.
در اینجاست که طلا نقش مهمی ایفا میکند.
شاید این موضوع عجیب به نظر برسد، اما در واقع مربوط به قوانین فیزیک است. طلا در بازتاب نور مادون قرمز عالی عمل میکند. وقتی که از آلومینیوم به پوششهای طلایی جایگزین میکنیم، گرما دیگر وارد بدنه هیتر نمیشود و مستقیماً به سمت ویفر هدایت میشود. این کار باعث میشود که تمرکز گرما بهتر شود و هزینه انرژی نیز کاهش یابد.
علاوه بر این، این روش کار همانند سیستمهای تهویه مطبوع را نیز آسانتر میکند؛ زیرا گرما دیگر به داخل اتاق سرایت نمیکند و سیستم خنککننده نیازی نیست برای جلوگیری از گرم شدن بیش از حد اتاق، بیش از حد کار کند.
اما مشکل اینجاست که طلا نرم است. اگر تیم تعمیراتی در هنگام تعویض لامپ، سطح طلا را خراش دهد، مشکلاتی پیش خواهد آمد. چند خراش کافیست تا کارایی هیتر کاهش یابد و حتی مناطق گرمی روی ویفر ایجاد شود. بنابراین باید با احتیاط با طلا کار کرد.
حالا بیایید درباره هزینهها صحبت کنیم. بله، طلا گران است؛ اما اگر از خطوط تولید ویفر ۳۰۰ میلیمتری استفاده میکنید که در آنها یکنواختی دما بسیار مهم است، این هزینهها جبران خواهد شد. شما میتوانید از لامپهایی با واتاژ کمتر استفاده کنید و همچنان به اهداف خود برسید؛ بنابراین منابع انرژی نیز تحت فشار زیادی قرار نخواهند گرفت.
یک نکته آخر: این هیترها را به یک کنترلکنندر PID متصل کنید؛ این تنها راه درست است.
و در هر صورت، سعی نکنید با افزایش واتاژ لامپ، منعکسکننده فرسوده را «تعمیر» کنید؛ زیرا این کار باعث میشود فیلامنتها سریعتر از حد معمول خراب شوند. فقط از تنظیمات توصیهشده برای پوشش طلا استفاده کنید و اجازه دهید طلا کار سخت را انجام دهد.