نگهداری ویفرهای شما در حالت تمیز: روش بهتری برای گرم کردن
اگر از اتاقهای پاکسازی کلاس ۱۰۰ استفاده میکنید، میدانید که چه اتفاقی میافتد. حتی یک ذره گرد و غبار کوچک یا یک تکه ماده، میتواند باعث این شود که کل محموله ویفرهای شما بیفایده شود. این واقعاً یک کابوس است. اکثر گرمکنهای معمولی برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا در لحظاتی که نیاز به ثبات دما داریم، آنها گازهایی را آزاد میکنند یا ذراتی را تولید میکنند.
به همین دلیل، ما از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده کردهایم. این لامپها مانند گرمکنهای معمولی نیستند؛ زیرا ما تمام ناخالصیهای فلزی و مواد آلی را از آنها جدا کردهایم. این کار مانع از آلودگی در طول چرخههای دمای بالا میشود.
راز این لامپها در کوارتز نهفته است.
ما از سیلیکا مذاب با خلوص بسیار بالا استفاده کردهایم؛ این امر مانع از ورود یونها به سطح تراشههای نیمههادی میشود. میتوانید کوارتز را مانند یک درپوش محکم برای فیلامنت تنگستن در نظر بگیرید؛ هیچ چیزی از آن خارج نمیشود.
علاوه بر این، از آنجایی که از طیف IR کوتاهامواج استفاده میکنیم، گرما مستقیماً به هدف میرسد؛ بنابراین هوای اطراف گرم نمیشود. سیستم تهویه هوای شما نیز از این موضوع سپاسگزار خواهد بود.
چند نکته مهم:
این لامپها برای سرعت و دقت طراحی شدهاند؛ میتوانید توان و ولتاژ آنها را تنظیم کنید تا با منبع تغذیه فعلی شما سازگار شوند.
اما نکته مهم این است که این لامپها بسیار قدرتمند هستند؛ بنابراین کوارتز ممکن است کمی شکننده شود. اگر دمای لامپها ناگهان تغییر کند، ممکن است شکسته شوند. بهتر است توان لامپها را به آرامی افزایش دهید.
نحوه نصب این لامپها:
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای گرمایشی فعلی شما شوند. از اتصالات ویژهای استفاده کردهایم تا اتصالات الکتریکی در برابر گازها محکم بمانند؛ بنابراین گازهای هالوژنی درون لامپ باقی میمانند.
نکته آخر: اگر قصد استفاده از این لامپها در یک سیستم با تراکم بالا را دارید، حتماً سیستم خنککننده خود را بررسی کنید. گرمای تولید شده توسط این لامپها بسیار زیاد است؛ اگر جریان هوا کافی نباشد، ممکن است سیمهای الکتریکی آسیب ببینند، و هیچ کس نمیخواهد با این مشکلات روبرو شود.