در سالن تولید، یک انحراف دمایی در طول پخت فوتورزیست یا تغییر در مرحله خشک‌کردن یک «خطا» نیست. این موضوع به صورت تغییر عرض خط ظاهر می‌شود، باعث کاهش...

در سالن لیتوگرافی، نرم‌پخت و سخت‌پخت صرفاً به معنی خشک کردن فوتورزیست نیستند. این مراحل بودجه حرارتی را تعیین می‌کنند که کنترل عرض خط، نمای دیواره...