افزایش گرمای وارد شده به ویفرها هنگام فرآوری ویفرها در کارخانه‌های تولید، به راحتی می‌توان فکر کرد که افزایش توان لامپ راه‌حل مناسبی است. اما اگر...

در این فرآیند، حتی تغییر جزئی دما در میزان ۰.۳ درجه سانتی‌گراد نیز می‌تواند باعث تغییراتی در پروفایل فوتورزیست شود. این تغییرات بلافاصله در مراحل...