افزایش گرمای وارد شده به ویفرها
هنگام فرآوری ویفرها در کارخانههای تولید، به راحتی میتوان فکر کرد که افزایش توان لامپ راهحل مناسبی است. اما اگر انرژی تولید شده به سیلیکون نرسد، داشتن توان بالا بیفایده خواهد بود.
اکثر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استاندارد استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این بازتابندهها انرژی زیادی را جذب و پراکنده میکنند. این کار هدردادن انرژی است. به همین دلیل از روکشهای طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
موضوع به نحوه عملکرد نور مادون قرمز برمیگردد. آلومینیوم برای گرم کردن ساده مناسب است؛ اما طلا در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد بسیار بهتری دارد.
به جای اینکه فوتونها به بدنه لامپ برخورد کنند و آن را گرم کنند (که این کار برای ویفرها بیفایده است)، یک لایه نازک از طلا، انرژی را درست به جایی که نیاز است، هدایت میکند. در نتیجه، هدف گرمتری خواهیم داشت، بدون اینکه مجبور باشیم بر روی منبع تغذیه فشار وارد کنیم.
رفع مشکل «نقاط سرد»
ما فقط طلا را روی یک تکه فلز قرار نمیدهیم؛ بلکه به منحنی سطح بازتابنده توجه زیادی میکنیم تا جریان گرما متمرکز شود.
چرا؟ چون هیچ چیز به اندازه یک پروفیل حرارتی نامنظم، کیفیت تولید را خراب نمیکند. اگر یک سمت ویفر سردتر از سمت دیگر باشد، منجر به تغییر شکل یا فرآوری ناصاف ویفر میشود. ما سعی میکنیم گرمای یکنواختی در سراسر سطح ویفر ایجاد کنیم.
تعادل واقعی
باید صادقانه بگوییم که طلا گران است؛ بسیار گرانتر از آلومینیوم.
این کار در ابتدا کمی ریسکآمیز است، اما باید به تصویر کلی توجه کرد. شما هزینه بیشتری برای لامپ میپردازید، اما از هدررفت انرژی در کل شبکه کارخانه جلوگیری میشود. معمولاً این سرمایهگذاری در بلندمدت مفید خواهد بود.
اما مشکل اینجاست که طلا نرم است. اگر تیم تعمیراتی از دستان خالی از روی این بازتابندهها استفاده کند، روغنهای موجود در پوست آنها به سطح بازتابنده آسیب خواهد رساند. در این صورت، قدرت بازتاب نور کاهش خواهد یافت.
نمیتوانم این موضوع را به اندازه کافی تأکید کنم: حتماً از دستکش استفاده کنید. در هنگام نصب، قانون «بدون تماس» را رعایت کنید. اگر سطح بازتابنده کثیف شود، سرعت فرآوری ویفر به سرعت کاهش خواهد یافت. سطح بازتابنده را تمیز نگه دارید و آن را به درستی متصل کنید؛ در این صورت، چگالی انرژی در سطح ویفر ثابت خواهد ماند.