Pourquoi utilisons-nous de l’or pour sécher les wafer de semi-conducteurs ?
Lorsque l’on utilise une station de rinçage pour les wafer, il faut trouver un équilibre délicat. Il est nécessaire de sécher rapidement la surface du wafer, mais si on est trop agressif, cela peut provoquer des déformations dues aux contraintes thermiques. C’est là que notre système entre en jeu. Nous combinons des lampes infrarouges étanches avec des réflecteurs revêtus d’or. Pourquoi de l’or ? Parce qu’il empêche la chaleur de se disperser dans le châssis de la machine, et la dirige directement vers le wafer. Le secret réside dans la réflexion de la lumière. La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium, mais ce dernier absorbe beaucoup d’énergie infrarouge. L’or, lui, est incroyablement efficace pour renvoyer la lumière infrarouge vers sa cible. En ajoutant une fine couche d’or, nous pouvons rediriger la radiation vers le wafer. Ainsi, on obtient une chaleur beaucoup plus forte, sans avoir à augmenter la tension des lampes. C’est simplement une application intelligente des lois physiques. Gérer la “zone humide” Comme ces lampes fonctionnent dans un environnement humide, elles sont constamment exposées à l’humidité. Si une goutte d’eau atteint les électrodes, la lampe est endommagée instantanément. Nous prenons donc soin de garantir que les joints soient hermétiques. De plus, nous veillons au bon dessin de l’arc de réflexion. Nous voulons un faisceau de chaleur concentré, afin que les pièces mécaniques environnantes restent fraîches et que l’énergie soit bien dirigée vers le wafer. Les compromis (car il y en a toujours) Concentrer autant d’énergie présente des avantages, mais aussi des risques. Comme l’or rend la chaleur très intense, il faut être prudent. Si le convoyeur est trop lent ou si les lampes sont trop proches les unes des autres, cela peut endommager les bords des wafer. Il est également important de s’assurer que les ventilateurs de refroidissement fonctionnent correctement, car la température derrière le réflecteur peut devenir très élevée. Le meilleur aspect ? Ces systèmes peuvent être remplacés facilement. Il suffit de remplacer l’ancien système par celui-ci, de le brancher, et c’est tout. Vous verrez que l’eau disparaît plus rapidement, et que le panneau électrique n’a plus à travailler autant.