Pourquoi utilisons-nous la technologie de séchage par rayonnement infrarouge pour le traitement des wafer ?
Dans les usines de semi-conducteurs, être « propre » n’est pas seulement un objectif : c’est essentiel. Si même une petite quantité de résidus reste après le séchage, cela pose problème. C’est pourquoi nous avons recours à des capteurs et émetteurs infrarouges précis. Cela nous permet d’éviter complètement l’utilisation de solvants chimiques ou de chauffages à combustion.
Oubliez le chauffage de l’air.
La plupart des gens pensent aux fours, où l’air est chauffé afin que cette chaleur soit transmise au wafer. C’est lent et peu efficace. Le rayonnement infrarouge, lui, utilise des ondes électromagnétiques pour agir directement sur les molécules du substrat. C’est instantané. De plus, il n’y a pas de risque que des éléments chauffants provoquent la formation de saletés dans l’air de la salle de nettoyage. Si vous voulez respecter les normes environnementales ou éviter toute contamination métallique, c’est sans doute la seule solution possible.
Cibler uniquement ce qui doit être chauffé.
Ce qui est génial, c’est que nous pouvons ajuster la longueur d’onde du rayonnement infrarouge. Au lieu de chauffer tout le support du wafer, nous ciblons uniquement les bandes d’absorption spécifiques de l’adhésif ou du photo-résiste. Ainsi, seuls les éléments qui doivent être chauffés le sont vraiment. Cela permet d’économiser beaucoup d’énergie. Vous ne gaspillez plus d’énergie en chauffant un châssis métallique entier juste pour sécher un seul wafer de 300 mm. De plus, comme ces modules sont très compacts, vous pouvez remplacer les fours conventionnels par eux, ce qui vous permet de gagner de l’espace. Votre système de climatisation vous en sera également reconnaissant.
L’inconvénient (car il y en a toujours un).
Le rayonnement infrarouge à haute intensité est très efficace. C’est parfait pour accélérer le processus de séchage des wafer. Mais cela rend la gestion thermique complexe. Si vos capteurs ne fonctionnent pas correctement, cela peut entraîner des zones chaudes locales. Or, ces zones chaudes peuvent endommager les wafer. Pour éviter cela, il faut associer ces émetteurs à des régulateurs PID rapides, afin de maintenir une température stable.
Un dernier conseil : ne vous contentez pas de câblage bas de qualité. Utilisez des câbles blindés. Sinon, les bruits électromagnétiques pourront perturber les lectures des capteurs. C’est un détail important, mais c’est ce qui fait la différence entre un lot parfait et un lot de produits défectueux.