単純な赤外線ランプで、本当に高価な半導体部品を代替できるのでしょうか？ 現場ではよくこの質問が出ます。普通の赤外線加熱ランプで、本当にコストを削減でき、かつ高価な半導体部品の代わりに使えるのでしょうか？ 重要なのは単に価格だけではありません。エンジニアリング的な側面も重要です。私たちは、元の装置と同じ性能を発揮するようにソリューションを開発しました。すべての要件を満たし、実際に機能するようにしています。
詳細：電力、電圧、そしてサイズ リソグラフィーにおけるソフトベイク工程では、温度制御が非常に重要です。そのため、元の装置と同じ電力密度を実現する必要があります。 私たちの赤外線ランプは、高電圧、通常は400Vで動作し、狭い空間内で大量の熱を発生させます。この高電圧方式により、消費電流が少なくなり、配線や内部の電子部品への負担が軽減されます。 また、サイズについても、チューブの長さを含む物理的な寸法を、標準的な300mmの基板装置に合わせています。これにより、加熱エリアが基板と完璧に一致し、ウェーハ全体が損傷することがありません。
内部構造：石英、コーティング、そして適切なプラグ ランプの核心部分は、高純度の石英チューブです。急速な温度変化にも耐えられ、赤外線を効率的に伝達します。 フィラメントの裏側には、特殊な反射層がコーティングされており、エネルギーを効率的に前方に送り出します。前端も処理されており、特定の波長をフィルタリングし、フォトレジストを硬化させるのに最適な熱分布を実現します。 そして、コネクタについてです。私たちは業界標準のR7sコネクタを使用しています。つまり、既存のソケットに直接接続できます。配線の変更や手間も不要です。
仕組みと注意点 ソフトベイク工程の目的は、フォトレジスト中の溶剤を迅速かつ均一に蒸発させることです。私たちのランプは、強力で短波長の赤外線熱をフォトレジスト層に照射します。これにより、処理速度が向上し、歩留まりも向上します。 R7sコネクタのおかげで、本当にそのまま交換できます。ダウンタイムもありません。 しかし、注意点もあります。 400V、2500Wのランプは大量の熱を発生させます。そのため、機械の冷却システムが十分でなければなりません。冷却が不十分だと、ランプの温度が過度に上昇し、寿命が短くなります。 私たちは常にお客様に、交換する前に冷却能力を確認するようにアドバイスしています。 これが、価格の壁を超える方法です。適切な仕様を、適切なパッケージで提供するのです。OEMのマークアップもありません。