省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハを加熱する際に、クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 半導体ウェーハを加熱する場合、温度制御だけでは不十分です。本当の問題は、粒子です。クラス100の環境では、加熱要素から飛び散ったわずかな破片一つで、生産結果が台無しになってしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかり...