レーザーダイシング用ウェーハサポートヒーター

アウトライン上では、レーザーダイシングは熱予算を歩留まりに変換することに尽きる。サポートヒーターの動作がずれ始めると、カーフ品質が崩れ、ウェーハ全体にマイクロクラックが走るのを確認することになる。我々は、温度を安定的かつ再現性良く、粒子生成を抑制して制御するレーザウェーハダイシング用サポートヒータ...