アプライドマテリアルズ製装置用赤外線ランプ

ライン上では、ベイクモジュールが各シフトで必ず感じる静かなボトルネックとなっています。レシピを設定し、モデルが予測する温度が狙い通りに到達し、その後もサイクルごとに安定して維持されることを期待します。ランプが設定温度を下回ると、フォトレジストの脱溶媒が不完全となり、クリティカルディメンション...