와이퍼를 깨끗하게 유지하기 위한 더 나은 가열 방법
클래스 100급 청정실을 운영하는 분들이라면 잘 알고 계시겠지만, 아주 작은 먼지 한 점이나 이물질 하나만 있어도 전체 와이퍼가 쓸모없게 되어버립니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 일반적인 히터들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 안정적인 열을 제공해야 할 순간에 오히려 가스를 방출하거나 이물질을 배출하기 때문입니다.
그래서 저희는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용했습니다. 이 램프들은 일반적인 히터와는 달리, 고온에서 발생하는 오염 요소들을 제거해줍니다.
비결은 바로 석영에 있습니다.
저희는 불순물이 거의 없는 융합 실리카를 사용합니다. 이를 통해 이온들이 반도체 기판으로 들어가는 것을 막을 수 있습니다. 석영 커버는 텅스텐 필라멘트를 보호하는 견고한 밀폐 구조입니다. 따라서 아무것도 밖으로 나갈 수 없습니다.
또한, 단파장 IR 스펙트럼을 사용하기 때문에 열이 직접 목표물에 전달됩니다. 주변의 공기가 가열되는 일은 없습니다. 그렇기 때문에 HVAC 시스템도 과부하를 겪지 않습니다.
주의해야 할 사항들
이 램프들은 속도와 정밀도를 위해 설계되었습니다. 기존의 전력 공급 장치에 맞춰 와트수와 전압을 조절할 수 있습니다.
하지만 단점도 있습니다. 성능이 너무 좋아서 석영이 약해질 수 있습니다. 갑작스러운 열 충격이 가해지면 석영이 깨질 수도 있습니다. 그러므로 전력을 점진적으로 높여야 합니다. 천천히, 꾸준히 하는 것이 중요합니다.
설치 방법
이 램프들은 기존의 가열 장치를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 전기 연결부를 밀폐시키기 위해 특수한 커넥터를 사용하여 내부의 할로겐 가스가 밖으로 나오지 않도록 합니다.
마지막 팁: 이 램프들을 고밀도로 배열할 경우, 냉각 시스템을 꼭 확인해야 합니다. 열이 매우 강하기 때문에, 공기 흐름이 원활하지 않으면 배선이 손상될 수 있습니다. 그런 상황은 누구도 원하지 않습니다.