산업용 반도체 제조 장비 히터 교체
Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이크 중 온도 편차나 건조 단계에서의 온도 드리프트는 단순한 “오류”가 아니다. 이는 선폭 변동으로 나타나며 수율을 떨어뜨리고 예기치 않은 다운타임을 초래한다. 기존 히터는 웨이퍼 전반에 걸쳐 ±0.1℃를 유지하려 애쓰지만, 사이클...
패브 IR 램프용 쿼츠 슬리브
리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순히 포토레지스트를 건조하는 것을 넘어선다. 이 과정들은 라인폭 제어, 사이드월 프로파일, 그리고 웨이퍼가 라인의 나머지 공정을 원활하게 통과하는지를 결정하는 열 예산을 설정한다. IR 램프 성능이 떨어져 특정 지점...