웨이퍼 경화 램프용 반사기

약 0.3°C만큼의 미세한 온도 변화라도 포토레지스트의 특성에 영향을 줍니다. 이러한 변화는 리소그래피 공정에서 오류가 발생하거나, 웨이퍼 폐기량이 증가하며, 공정 일정이 지연되는 결과를 초래합니다. 웨이퍼 경화용 램프의 성능은 단순한 이론이 아니라, 반복 가능한 온...