에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

와이어 히팅 과정에서도 클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 반도체 웨이퍼를 가열할 때, 온도 제어만으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 바로 미세한 입자들입니다. 클래스 100급 환경에서는 가열 요소에서 떨어져 나온 아주 작...