전자 제품용 정밀 적외선 히터

팹 플로어에서의 포토레지스트 베이킹 포토레지스트 베이킹은 선택 사항이 아닙니다. 이는 열 예산입니다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크를 2°C만 조정해도 중요한 치수 제어와 사이드월 프로파일이 변화합니다. 웨이퍼 수준의 균일성은 출하되는 배치와 폐기되는 배치의 경계입...