에너지 절약형 반도체 히팅

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 가열하는 작업은 단순한 사전 처리 단계가 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 핵심적인 열 관리 과정입니다. 만약 가열판의 위치가 변하면, 웨이퍼의 균일성도 함께 변하게 되고, 그 결과 불량률도 급격히 증가합니다. 실제로 중요한 것은 무...