
Mencegah Letupan Semasa Proses Pengeringan Wafer IR
Sejujurnya, proses pengeringan wafer sensor MEMS setelah dibersihkan menggunakan bahan kimia merupakan proses yang sangat berisiko. Komponen pemanas berada tepat di tengah-tengah wap pelarut yang mudah terbakar dan meletup.
Lampu IR biasa tidak sesuai untuk digunakan dalam situasi seperti ini. Jika menggunakan lampu biasa, ia akan menyebabkan letupan. Itulah sebabnya kami menggunakan lampu yang mempunyai lapisan pelindung khas. Tujuannya adalah untuk menghalang haba daripada keluar, sementara bahan berbahaya dihalang daripada masuk ke dalam komponen elektrik tersebut.
Cara untuk Mencegah Kebocoran Arus Elektrik
Proses pembersihan kimia boleh menyebabkan berlakunya percikan api atau permukaan yang panas, yang boleh mencetuskan letupan. Untuk mengelakkan hal ini, kami meletakkan komponen pemanas di dalam lapisan kuarsa yang berkualiti tinggi. Kami juga menambah lapisan penutup tambahan di tempat elektrod bertemu. Ini membantu menghalang bahan kimia berbahaya daripada meresap ke dalam litar elektrik.
Kami juga menggunakan bahan penyambung khas yang tidak mengeluarkan gas berbahaya. Walaupun ruang pembakaran dipenuhi dengan VOC, arus elektrik tetap terkawal.
Mencapai Keseimbangan Antara Haba dan Stabiliti
Semasa proses pengeringan, kita memerlukan banyak haba, dan ia perlu diberikan dengan cepat. Kami menyesuaikan lampu tersebut agar dapat menghasilkan haba dengan cepat, supaya permukaan wafer dapat dikeringkan tanpa merosakkan struktur MEMS.
Namun, ada cabarannya. Tenaga yang dihasilkan oleh lampu tersebut menyebabkan tekanan yang tinggi. Lampu tersebut akan mengembang dan mengecut secara berterusan. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, lapisan penutup tersebut akan rosak.
Nasihat Saya
Adakan jadual penyelenggaraan yang ketat. Periksa adanya retakan pada lapisan kuarsa. Ia merupakan amalan kecil yang dapat mengelakkan masalah besar.
Penerapan di Tempat Kerja
Apabila memasang lampu tersebut, ingatlah bahawa titik sambungan merupakan bahagian yang paling rentan. Kami menggunakan konektor yang kuat untuk memastikan sambungan tetap kukuh. Mengapa? Kerana getaran boleh menyebabkan sambungan menjadi longgar, dan sambungan yang longgar boleh menyebabkan percikan api. Dalam suasana yang mudah meletup, ini merupakan risiko yang sangat serius.
Mengganti lampu tersebut agak mudah, tetapi pastikan lapisan penutupnya diperiksa dengan teliti setiap kali. Walaupun celah sekecil beberapa milimeter saja sudah cukup untuk merosakkan sistem keselamatan keseluruhan modul pengeringan tersebut. Hanya memerlukan sekadar beberapa saat untuk memeriksanya, namun ia merupakan perkara yang paling penting.