ในโรงงานผลิตชิป กระบวนการอบชิปแบบอ่อนและแบบแข็งไม่ใช่เพียงแค่ “ขั้นตอนการให้ความร้อน” เท่านั้น แต่ยังเป็นปัจจัยสำคัญที่ส่งผลต่อคุณภาพของชิปด้วย หากอุณหภูมิของวงจรระหว่างการอบเปลี่ยนแปลงไปเพียง 1°C ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนแปลงไปได้ นอกจากนี้ การเกิดอนุภาคขณะอุ่นชิปก็อาจทำให้ชิปเสียหายก่อนที่จะนำไปแบ่งเป็นชิ้นเล็กๆ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีเครื่องอุ่นที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ และต้องปฏิบัติตามกฎเกณฑ์ของห้องสะอาดด้วย
เราออกแบบเครื่องอุ่นสำหรับโรงงานผลิตชิปโดยใช้เครื่องกำเนิดรังสีอินฟราเรดแบบความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับระบบลมหมุนเวียน วิธีนี้ช่วยให้อุณหภูมิของวงจรอยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดทั้งพื้นที่การอบ ส่วนความแม่นยำของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.5°C ดังนั้นอุณหภูมิจะคงที่ในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์
วัสดุที่ใช้สร้างห้องอบมีคุณสมบัติไม่ปล่อยก๊าซออกมา และระบบท่อลมก็สามารถทำงานร่วมกับระบบ HEPA ได้ ซึ่งช่วยให้จำนวนอนุภาคอยู่ในระดับต่ำ ซึ่งมีความสำคัญมากสำหรับชิปรุ่นล่าสุด นอกจากนี้ เครื่องอุ่นนี้ยังถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีอุปกรณ์ที่สามารถทำงานได้ต่อเนื่อง และมีกำหนดเวลาการบำรุงรักษาที่ชัดเจน เพื่อหลีกเลี่ยงการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด
เครื่องอุ่นนี้ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เสถียร และระบบระบายอากาศที่เหมาะสมกับห้องสะอาด การปรับปรุงเครื่องอุ่นอาจต้องมีการหยุดทำงานชั่วคราว ดังนั้นจึงควรวางแผนการเชื่อมต่ออุปกรณ์ต่างๆ ล่วงหน้า เพื่อให้การผลิตสามารถดำเนินต่อไปได้อย่างราบรื่น
เรามีแบบรูปร่างของเครื่องอุ่น รวมถึงรายการตรวจสอบก่อนการใช้งาน เพื่อให้การติดตั้งเป็นไปอย่างง่ายดาย แต่ควรวางแผนการเชื่อมต่ออุปกรณ์ต่างๆ ล่วงหน้า เพื่อหลีกเลี่ยงการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด