IR Isıtma Yöntemiyle Vakum Odalarınızı Hızlandırma Eğer akıllı bir üretim ortamı oluşturmayı planlıyorsanız, ısının nasıl yönetileceğinin oldukça önemli olduğunu muhtemelen fark etmişsinizdir. Vakum odasında çalışırken, ısının hareket ettirilmesi için havaya güvenemezsiniz; konveksiyon işlemi gerçekleşmez. Bu durumda tek çözüm radyasyondur. İşte bu yüzden kızılötesi ısıtma yöntemi tercih edilir. Bu yöntem sayesinde araya bir aracı gerekmeden substratı ısıtabilirsiniz.
Isıyı “Akıllı” Hale Getirme Akıllı bir üretim ortamı aslında daha iyi veriler elde etmek istemenin başka bir ifadesidir. Eski tip ısıtıcıların sorunu ne mi? Çok yavaşlar ve tepki vermeleri uzun sürer. Biz ise kısa dalga boyundaki kızılötesi lambalar kullanıyoruz; çünkü bunlar çok hızlı tepki verirler. Gerilimi değiştirdiğinizde neredeyse anında tepki verirler. Bunları kapalı döngülü PID kontrol cihazlarına bağladığınızda sezgisel bir kontrol imkanı elde edersiniz. Termal haritayı gerçek zamanlı olarak görebilir ve sıcaklık ayarlarını tam da istediğiniz yerde yapabilirsiniz. Eğer waferlerde stres oluşmasından endişe ediyorsanız, bu yöntem sayesinde bu tür sorunlardan kaçınabilirsiniz.
Sorunlar ve Çözümleri Ancak işin bir de negatif tarafı var. Yüksek yoğunluklu kızılötesi ısıtıcılar, substrata büyük miktarda enerji aktarır. Bu yöntem, üretim sürelerini azaltmak için harika olsa da “bedava” bir enerji kaynağı değildir. Tüm bu ısı, soğutma sistemlerine büyük baskı uygular. Eğer yüksek güçlü bir sistem kullanıyorsanız ancak soğutma suyu akışını yeterince artırmayı unutursanız, oda duvarlarında termal sorunlar yaşarsınız. Bu, daha fazla güç kullanmanın beraberinde getirdiği bir trade-off’tur: Daha fazla güç demek, makinenin diğer kısımlarını soğutmak için daha iyi bir yönteme ihtiyaç duymak demektir.
Neden Bu Yöntem Üretim İçin Uygundur? Bu sistemleri modüler olarak tasarlıyoruz. Neden mi? Çünkü lambalar zamanla bozulur. Sadece bir lamba bozuldu diye tüm sistemi yeniden kalibre etmek için tüm hafta sonunuzu harcamak istemezsiniz. Bunun yerine hemen yerine konabilecek bir yedek parça kullanmak daha mantıklıdır. Ayrıca her şey dijital olduğu için PLC, lambaların çalışma saatlerini takip edebilir. Böylece arıza meydana gelmeden önce size uyarı verebilir. Bu sayede bakım işlemleri panik içinde yapılan bir iş olmaktan çıkıp düzenli bir şekilde gerçekleştirilen bir iş haline gelir.
Hızlı, kompakttır ve dijitalleşmiş üretim hatlarıyla uyumlu çalışır.