Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ thực sự rất quan trọng. Nếu bạn đang vận hành một phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn biết rõ điều này. Việc duy trì nhiệt độ ổn định không phải là điều dễ dàng. Điều quan trọng hơn là các hạt bụi và khí có thể phá hủy các tấm wafer trong vài giây ngay lập tức.
Hầu hết các loại đèn hồng ngoại thông thường đều không phù hợp để sử dụng trong môi trường sạch như thế này. Khi chúng nóng lên, chúng có xu hướng giải phóng các tạp chất kim loại hoặc chất hữu cơ. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng thủy tinh silic tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các thiết bị UHP (Ultra High Purity). Điều này giúp tránh việc các tạp chất gây hại cho vật liệu được xử lý.
Bí quyết nằm ở chính thủy tinh silic này. Chúng ta sử dụng thủy tinh silic tổng hợp có độ tinh khiết cao, vì loại thủy tinh rẻ tiền chứa nhiều boron và aluminum. Khi những chiếc đèn rẻ tiền này hoạt động, chúng sẽ giải phóng các chất độc hại, điều này gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của vật liệu được xử lý.
Chúng ta cũng sử dụng cơ chế tuần hoàn halogen. Cơ chế này giúp ngăn không cho sợi wolfram bị bay hơi và dính vào bên trong ống đèn. Nếu sợi wolfram tích tụ trên bề mặt thủy tinh, ánh sáng phát ra sẽ bị thay đổi, và đèn sẽ hỏng sớm hơn dự kiến.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Khi sử dụng các ống đèn UHP có công suất cao, nhiệt độ sẽ tăng lên rất nhanh. Điều này tốt cho việc làm nóng vật liệu nhanh chóng, nhưng lại gây áp lực lớn lên vỏ bọc của đèn. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt này. Nếu không khí không lưu thông tốt và hai đầu ống đèn bị quá nhiệt, thủy tinh silic sẽ bị vỡ.
Để duy trì sự ổn định, chúng ta sử dụng các đầu nối R7s hoặc Sk15. Chúng giúp đảm bảo kết nối điện khít chặt, từ đó tránh được hiện tượng phóng điện trong môi trường chân không hoặc môi trường được kiểm soát.
Một vài mẹo thực tế
Những chiếc đèn này có thể được sử dụng trong hầu hết các thiết bị xử lý bán dẫn hoặc phủ lớp quang học cao cấp. Chúng tạo ra ánh sáng hồng ngoại có bước sóng ngắn, giúp xử lý vật liệu một cách hiệu quả.
Tuy nhiên, có một điểm cần lưu ý: Thủy tinh silic rất nhạy cảm với dấu vân tay. Nếu nhân viên kỹ thuật chạm vào bề mặt thủy tinh mà không đeo găng tay, dầu trên da sẽ bám vào thủy tinh silic. Điều này tạo ra những điểm nóng, khiến đèn hỏng sớm.
Hãy giữ cho bề mặt thủy tinh luôn sạch sẽ. Nếu không, bạn sẽ phải thay thế đèn sau vài trăm giờ sử dụng, và chẳng ai muốn dành cuối tuần của mình để làm việc đó cả.