用于晶圆的精密红外传感器
为何我们选择红外固化技术来处理晶圆?
在半导体制造厂中,“清洁”并非一个简单的目标,而是至关重要的要求。如果在干燥或固化过程中留下哪怕一点点残留物,都会引发问题。因此,我们采用精准的红外传感器和发射器,这样就能完全避免使用化学溶剂和燃烧式加热器。
不必再通过空气加热了。
大多数人都会想到用烤箱来加...
氢气传感器制造用加热器
正确控制氢气传感器的温度:为何红外技术是最佳选择 制造氢气传感器需要精确控制温度——既不能让催化剂层失去活性,也不能让膜状电解质变得不稳定。如果仍然使用传统的对流式加热器,那无异于用大锤来实施手术。
因此,我们转向了高密度红外加热技术。这种技术能够将热量精确地传递到需要加热的位置,而不会影响到整个...
智能传感器封装红外技术
别再浪费能量了:更有效的传感器封装方法 在半导体晶圆领域,浪费电能就等于白白浪费金钱。在处理智能传感器封装时,需要确保有适量的热量作用于晶圆表面。当然,你也不希望周围的设备因为过热而无法正常工作。
问题在于:普通的红外发射器会将能量向各个方向散发。如果没有合适的反射器,一半的能量就会白白浪费掉。...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何防止红外灯在干燥过程中引发爆炸 说实话,对MEMS传感器晶圆进行化学清洗后的干燥过程其实相当危险。因为加热元件就位于易燃易爆的溶剂蒸汽之中。
普通的红外灯根本不适合用于这种环境。如果在这种环境中使用普通灯泡,那无疑是在自找麻烦。因此,我们设计的灯光采用了特殊的封装结构,这样的设计能够有效隔绝热...
晶圆处理设备的温度传感器
为何红外加热比强制空气加热更适用于晶圆处理 如果你们仍然依赖强制空气循环来为晶圆加热,那其实是在与物理规律作对。想想看:使用强制空气加热时,必须先让整个腔室内的所有空气分子都升温,之后晶圆才会开始感受到热量。这个过程很慢,效率也很低。而在制造行业中,每一秒都很珍贵,这样的延迟无疑会带来巨大损失。...