为何红外加热比强制空气加热更适用于晶圆处理
如果你们仍然依赖强制空气循环来为晶圆加热，那其实是在与物理规律作对。想想看：使用强制空气加热时，必须先让整个腔室内的所有空气分子都升温，之后晶圆才会开始感受到热量。这个过程很慢，效率也很低。而在制造行业中，每一秒都很珍贵，这样的延迟无疑会带来巨大损失。
关键在于避免不必要的中间环节。 红外加热则不需要考虑空气的问题，它直接利用电磁辐射来加热晶圆表面。无需等待整个腔室变热，几乎可以瞬间完成加热。对于那些需要大量生产晶圆的工厂来说，每节省几秒钟的启动时间，就能每周节省数小时的产量。
此外，我们都知道“冷点”这个麻烦问题。强制空气循环很难让晶圆上的每一个部位都受到均匀的加热。而使用红外加热技术，就可以精确控制加热区域，只需调整各灯具的功率，就能让晶圆表面的温度分布更加均匀。这样一来，就不用再为了确保晶圆中心足够热而过度加热其边缘了。
当然，这并不是没有任何缺点的。 红外加热的强度很大，如果PID控制器设置不当，很容易超过目标温度。同时，还需要确保传感器能够准确感知快速变化的温度。另外，如果冷却系统不够强大，那些辐射热可能会影响到设备的正常运行。
不过，对于那些希望提升生产规模的工厂来说，这确实是最好的解决方案。与其与空气作对，不如直接控制光子，从而缩短生产周期。