晶圆加热的安全距离

别再浪费热量了：关于晶圆加热的真相 在半导体生产过程中，每一瓦特的能量损失都不仅仅是预算上的问题——它还可能带来污染风险。在给晶圆加热时，我们希望所有的红外能量都能准确地照射到晶圆上，不能有任何能量流失。 因此，我们使用镀金反射器。这样，能量就不会散失到机器的机壳里，而是被重新导向晶圆上。 为什么...