晶体石英套管用于制造红外灯

在光刻车间，软烘烤和硬烘烤不仅仅是为了干燥光刻胶。它们设定了热预算，决定了线宽控制、侧壁轮廓以及晶圆在后续工艺中的流动性。当红外灯表现不佳——某处过热，另一处偏冷——损失的不只是一个批次，还会带来报废、返工以及工艺裕度的缓慢流失。 我们为晶圆厂红外灯设计了石英套管，旨在从根源上减少这种波动：正是在...