半导体洁净室推车式加热器

在真正需要加热的地方提供更多热量 如果你曾在半导体洁净室工作过，那么你一定知道使用电热器时所面临的难题。你需要让晶圆表面达到精确的温度，但同时又不能让其他设备变成巨大的散热器。 大多数人最初会选择普通的铝制反射器。问题在于，铝具有很强的吸热能力，它会吸收过多的红外辐射。这样一来，大量的能量就被浪费...