应用材料设备用红外灯

在线生产线上，烘烤模块是每班次中你能明显感受到的安静瓶颈。你设定配方参数，期望温度能够达到模型预测的目标值，并且保持稳定——一遍又一遍地循环。当灯管温度低于目标时，光刻胶不能完全脱溶剂，关键尺寸控制开始漂移；当温度超过目标时，光刻胶流动，表面出现污渍，最终导致本应合格的晶圆被报废。不论哪种情况，设...