高能效晶圆加热器

在加热半导体晶圆的过程中，如何保持100级洁净室的清洁状态呢？ 如果你正在对半导体晶圆进行加热处理，那么你肯定知道，温度控制只是其中一半的工作。真正的难题在于那些微小的颗粒物。在100级洁净室里，哪怕有那么一点点颗粒从加热元件上脱落下来，都可能毁掉整个产品的质量。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的代价...