Die Verhinderung von Staub: Heizen in Reinräumen der Klasse 100
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, kann man es sich nicht leisten, auch nur den geringsten Fehler zu machen. Ein einziger Staubkorn oder etwas Ausdunstung vom Heizer reicht aus, um die Qualität der Halbleiter- oder Medizinprodukte erheblich zu beeinträchtigen. Das ist frustrierend – man investiert viel Zeit in Präzision, nur um dann durch ein billiges Heizelement alles zu zerstören.
Deshalb haben wir unsere Methode geändert. Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz sowie goldbeschichtete Reflektoren, um eine perfekte Sauberkeit zu gewährleisten.
Die Vorteile der goldenen Reflektoren
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren. Die funktionieren zwar eine Weile, doch anschließend oxidieren sie. Diese Oxidation führt zur Entstehung von mikroskopisch kleinen Staubpartikeln, die direkt in den Produktionsbereich gelangen. Das ist nicht gut.
Wir nutzen stattdessen eine mit Vakuum aufgetragene Goldschicht. Gold oxidiert einfach nicht. Zudem reflektiert es etwa 98 Prozent der Infrarotstrahlung direkt zurück auf das Werkstück. So erhält man genau dort die gewünschte Hitze – ohne Energie zu verschwenden, indem man die Luft um das Werkstück erwärmt.
Warum Quarz wichtig ist
Die Glühbirnen selbst bestehen aus hochreinem geschmolzenem Quarz. Er ist sehr widerstandsfähig und kann extreme Temperaturwechsel ohne Risse oder das Abrutschen von Siliziumpartikeln überstehen. Da der Wolframfaden innerhalb dieses Quarzkörpers untergebracht ist, muss man sich keine Sorgen um einen „Ausfall“ des Heizers machen. Der Heizer bleibt einfach sauber.
Ein paar Hinweise zur Leistung
Hier liegt das Problem: Diese Geräte sind sehr leistungsstark. Aufgrund der hohen Effizienz der goldenen Reflektoren kann man in der Regel die Leistungseingänge reduzieren, ohne die gewünschte Temperatur zu verlieren. Man muss jedoch genau auf die Oberflächentemperaturen achten – die Teile heizen sich schnell auf. Wenn der PID-Controller nicht für solche Geschwindigkeiten geeignet ist, kann das Substrat versehentlich beschädigt werden.
Inbetriebnahme
Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für Ihre aktuellen Infrarotheizgeräte verwendet werden können. Egal ob Sie Wafer trocknen oder Klebstoffe aushärten möchten – das Ziel ist es, Kontaminationen schon im Keim zu ersticken. Kein Staub, keine Dämpfe – nur saubere, direkte Wärme.