粉塵の発生を防ぐ：クラス100クリーンルーム用の加熱装置
クラス100クリーンルームを運営している場合、たった一つのミスも許されません。わずかなほこりの粒子やヒーターから発生するガスだけで、半導体や医療機器の品質が低下してしまいます。本当にイライラしますよね。あれほど丁寧に作業をしているのに、安価なヒーターのせいで全体の品質が台無しになってしまうのです。
そこで私たちは方法を変えました。高純度の合成石英製の赤外線ランプと、金メッキ加工された反射器を使用することで、常にクリーンな環境を維持しています。
金メッキ反射器の利点
多くの場合、アルミニウム製の反射器が使われます。一時的には問題ありませんが、時間が経つと酸化してしまいます。その酸化物は微細なほこりとなり、生産エリア内に浮遊してしまいます。これは良くありません。
私たちは真空蒸着法で作られた金層を使用しています。金は酸化しません。そして、赤外線の約98％を直接ワークピースに戻します。つまり、必要な場所にだけ十分な熱を与えることができ、周囲の空気を温める無駄がありません。
石英の重要性
このランプ自体は高純度の融解石英で作られています。非常に丈夫で、急激な温度変化にも耐えられます。また、タングステンフィラメントは石英の中に密封されているため、通常のヒーターのように消耗する心配もありません。常にクリーンな状態を保ち続けます。
電力に関する注意点
注意すべき点は、これらの装置が非常に強力だということです。金メッキ反射器によって熱が効率的に集中されるため、通常は電力の投入量を減らしても目標の温度に到達できます。しかし、表面の温度をしっかりと監視する必要があります。温度が急速に上昇するため、PIDコントローラーの設定が適切でないと、基板が焼損してしまう可能性があります。
使用方法
これらの装置は、既存のIRヒーターの簡単な交換用として設計されています。ウェーハの乾燥や接着剤の硬化など、汚染が起こる前にそれを防ぐのが目的です。ほこりも煙も出ず、純粋で直接的な熱が得られます。