化学洗浄において、金コーティングされたIRランプを使って安全を確保しよう
正直に言えば、半導体製造工場での化学洗浄は非常に危険な作業です。火災や爆発を引き起こしそうな溶剤を扱うわけですからね。通常の赤外線ランプをその環境に使ったら、問題が生じるだけです。
だからこそ、私たちは特別な密封処理が施された金コーティングされた石英ランプを使用します。これは、火花が発生する前にそれを防ぎ、化学物質が機器を破壊するのを防ぐためです。
なぜ金なのか？
石英の外装に薄い金の層を塗ります。これは、機械を見栄え良くするためではありません。
金は鏡のように機能し、赤外線エネルギーをウェハー上に直接送り込みます。金がなければ、多くの熱がランプの背後に逃げてしまいます。エネルギーを正確に必要な場所に集中させることで、自分の機器が損傷するのを防ぐことができます。これがより賢明な方法です。
危険な場所での安全対策
ランプの端は通常、最も弱い部分です。揮発性のある蒸気が充満した部屋では、わずかな電気アークや漏れでも大きな火災の原因になり得ます。
これを防ぐために、電極と石英が接する部分には完全な密封処理を施します。そうすることで、化学物質が内部に入り込むことも、内部のガスが漏れ出ることもありません。
また、強化されたコネクタも使用します。なぜかというと、接続が緩むとアークが発生してしまうからです。化学処理室でアークが発生すると、本当に大惨事になります。
知っておくべきトレードオフ
完璧なものはありません。金コーティングされたランプは熱を効率的に伝達するのに優れていますが、清潔さには少し繊細です。
もし金の層に化学物質の残骸が溜まると、熱点ができてしまいます。その熱点が原因で石英が割れてしまうこともあります。ランプが早く故障しないように、定期的に清掃を行う必要があります。いかなる抜け道もありません。
もう一つ、換気を確認してください。たとえランプがしっかりと密封されていても、大量の熱が放出されます。もし空気の流れが不十分だと、近くの化学物質が蒸発してしまう可能性があります。空気をしっかりと循環させれば、問題ありません。